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                  質量流量控制器

                  更新時間:2022-06-20

                  簡要描述:

                  質量流量控制器,Z小控制量程低至0-0.5SCCM,采用層流差壓原理,可本地顯示溫度,絕壓,質量流量和體積流量,耐壓1MPa,低壓差條件下亦可使用。內置130種氣體,大大節約用戶成本。反應時間快。

                    免費咨詢:86-10-87241391

                    發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

                   

                  一、產品系列

                  MC 標準系列

                  控制響應快、穩定的流量控制器。

                  MCR 大流量系列

                  精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特®R系列閥門為無摩擦閥門,可精密控制大流量的氣體流量,特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。

                  MCW / MCRW 低壓損系列

                  大限度減小壓損對系統的影響,滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力,是航空航天、環境氣體分析等應用的選擇;大量程:0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列

                  MCS / MCRS 耐腐蝕系列

                  所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列

                  MCE / MCV 半導體行業系列

                  可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器,可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容,封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ,專門用于真空應用??啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業系列

                  MCD / MCRD 雙向質量流量&壓力控制器系列

                  *雙向,可正向或反向控制氣體流量??啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。  點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列

                  二、質量流量控制器常用選配項

                  ?     后置閥門,優化真空及背壓應用的控制

                  ?     批量控制模式,依靠快速的閥門響應來分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

                  ?     CSA認證12 / ATEX認證12區允許設備用于危險環境

                  ?     9針或15D-Sub等連接接口可選

                  ?     通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

                  ?     彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合

                  三、性能參數

                  指標

                  MFC

                  量程

                  0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

                  精度

                  ±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

                  重復性

                  ±0.2%

                  量程比

                  200:1

                  響應時間

                  100ms

                  標準狀態(STP)

                  25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

                  溫度范圍

                  -10~50

                  零點漂移

                  0.02%

                  量程漂移

                  0.02%

                  濕度范圍

                  0-100%

                  測量流量范圍

                  128%(過流率)

                  大耐壓

                  145psi

                  輸出信號(數字)

                  質量流量、體積流量、壓力和溫度

                  數字信號可選

                  RS485,Modbus,Profibus

                  輸出信號(模擬)

                  質量流量、體積流量、壓力和溫度

                  模擬信號可選

                  0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

                  電氣連接

                  8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定)

                  供電電壓

                  7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

                  供電電流

                  0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)

                  留言框

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