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                  國產質量流量計

                  更新時間:2019-08-19

                  簡要描述:

                  國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

                    免費咨詢:86-10-87241391

                    發郵件給我們:info@hammertech.com.cn

                  一、國產質量流量計產品特點

                  · 測量質量流量

                  · 無需溫度和壓力補償

                  · 結構緊湊

                  · 精度高

                  · 工作壓力高

                  · 響應時間快

                  · 重復性高

                  二、國產質量流量計產品簡介

                  本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

                  三、國產質量流量計技術參數

                  型號

                  質量流量計/質量流量控制器

                  流量范圍(N2)

                    10SCCM~100SLPM

                    響應時間

                    <2 sec

                  精準度

                    ≤±1% FS

                    重復精度

                    ±0.2% FS

                    輸入/輸出信號

                  0~5 Vdc OR 4~20 mA

                  供電電源

                    ±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

                   耐壓

                    <100bar

                  工作環境溫度

                    0~50 °C

                  漏率

                    1*10E-9 atm cc/sec

                  使用范圍

                    2 ~ 100%

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